SF6分解气体的混气系统及混气方法

摘要

本发明涉及一种SF6分解气体的混气系统及混气方法，其中，混气系统包括包括第一气路、第二气路和混气箱，第一气路和第二气路中均设有质量流量控制器，且第一气路和第二气路的输出端均连接至混气箱的进气口，第一气路的输入端连接至装填有SF6气源的第一容器，第二气路的输入端连接至第二容器，第二气路共设有多个，且各第二气路输入端连接至不同的第二容器，混气箱包括本体、待测传感器、风扇、压力测量单元、加热单元和真空泵，混气箱的出气口连接至真空泵，待测传感器、压力测量单元、风扇和加热单元均置于本体内，本体上还设有航插，航插连接至待测传感器。与现有技术相比，本发明具有提高样品准确度等优点。