公开/公告号CN113678064A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202080027325.2
申请日2020-03-12
分类号G03F7/20(20060101);G05B19/418(20060101);G06N20/00(20060101);G06Q10/10(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人赵林琳
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 13:18:31
机译: 用于调整设施位置之间的预测模型的系统和方法
机译: 用于协调设施位置之间的预测模型的系统和方法
机译: 用于系统内的移动单元的通信系统,跟踪系统,以及向设施中的移动单元发送消息。设施中的中央控制器与移动单元之间的无线通信方法以及设施中的位置信息和向移动单元发送消息的方法