一种分辨率可调的超透镜阵列及实现方法

摘要

本发明公开了一种分辨率可调的超透镜阵列及实现方法，该超透镜阵列由石英基底与一层硅纳米柱超表面结构组合而成，能够实现在特定波长的线偏振光入射下实现三种分辨率的切换。该超透镜阵列主要包括两大部分：超构表面的设计和超构表面的制造。超构表面设计为偏振三通道的超透镜。超构表面的制造包括电子束曝光、剥离金属和电感耦合等离子体刻蚀工艺；将超构表面设计完成的超透镜阵列利用电子束曝光、剥离金属和电感耦合等离子体刻蚀工艺等完成制备。可以在入射光波长不变的情况下实现三种分辨率的转换，具有多功能、体积小、易加工等优点，可以实现动态分辨率的调控。