用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置

摘要

本发明提供一种用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置。该方法包括：获取照明光强在预设最大离焦范围内单调变化的光热反射显微热成像装置采集的被测件位于待对焦位置时的采集图像，及被测件位于对焦位置时的参考图像；根据采集图像计算得到第一总强度值，并根据参考图像计算得到第二总强度值；比较第一总强度值和第二总强度值的大小，基于比较结果和照明光强在预设最大离焦范围内单调变化的趋势，确定被测件的离焦方向；获取被测件的离焦深度；离焦方向和离焦深度用于对被测件进行对焦。本发明能够在提高对焦效率的同时，避免人工对焦一致性不够的问题，保证多帧采集图像的对焦稳定性，提高基于光热反射进行测温时测量结果的准确性。