一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法

摘要

本发明公开了一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法。基于反射激光空间分布提出了一种物体三维形貌测量方法，通过两束激光光束得到两个位置探测器的相关数据计算出被测点的高度信息和斜度信息，根据若干被测点的高度信息和斜度信息还原待测表面的三维形貌。相对于现有技术中根据被测点的高度还原的三维形貌更加精确，更能够满足半导体器件的表面形貌测量的高精度要求。