公开/公告号CN113640226A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 国家卫星海洋应用中心;
申请/专利号CN202110922045.4
申请日2021-08-12
分类号G01N21/17(20060101);G01N21/3577(20140101);G01N21/359(20140101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人徐丽
地址 100080 北京市海淀区大慧寺路8号
入库时间 2023-06-19 13:15:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-20
授权
发明专利权授予
机译: 基板保持装置,基板处理装置,基板保持方法,反演方法,形成膜的方法,以及电子设备的制造方法
机译: 基板保持装置,基板处理装置,基板保持方法,反演方法,薄膜沉积方法和电子设备制造方法
机译: 优化混合空间系统地面覆盖率的装置和方法