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氮化物陶瓷基板的制造方法及氮化物陶瓷基材

摘要

首先,利用激光,在氮化物陶瓷基材(100)的第1面(102)形成划线(110)。接着,沿着划线(110)将氮化物陶瓷基材(100)分割。划线(110)包含多个凹部(112)。多个凹部(112)在氮化物陶瓷基材(100)的第1面(102)形成为一列。多个凹部(112)各自的深度(d)为多个凹部(112)各自的开口宽度(w)的0.70倍以上、1.10倍以下。多个凹部(112)各自的开口宽度(w)为多个凹部(112)的中心间距离(p)的1.00倍以上、1.10倍以下。

著录项

  • 公开/公告号CN113646149A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 电化株式会社;

    申请/专利号CN202080021035.7

  • 申请日2020-03-12

  • 分类号B28D5/00(20060101);B23K26/364(20060101);C04B41/91(20060101);H05K1/02(20060101);H05K3/00(20060101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人李国卿

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 13:13:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-27

    授权

    发明专利权授予

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