一种液氩系统不凝气过滤回收工艺

摘要

本发明公开了一种液氩系统不凝气过滤回收工艺，所述液氩回收工艺由液氩储存罐、氩气回收器和液氮冷却器构成，所述液氩回收工艺步骤如下：将高压液氩储存罐和低压液氩储存罐排气口排放的液氩进行收集，并集中传输至氩气回收器中；氩气回收器与液氮冷却器连接，降低氩气回收器内部的温度，使得氩气回收器中的氩气冷却液化；氩气回收器中的氩气液化成氩气后，通过输送管将液氩回流至高压液氩储存罐中。本发明将现有的液氩储存设备排气口所排出的液氩进行收集，并通过液氮冷却器将氩气进行集中冷却液化，液化后的液氩再次回流至储存设备中，可对液氩进行有效收集，避免了浪费，还实现了全过程的零排放。