一种环形光瞳共焦布里渊显微系统

摘要

本发明提出一种环形光瞳共焦布里渊显微系统，解决现有共焦布里渊光谱测量系统计算复杂、计算精度差的问题。所述系统，包含：照明模块、分光平片、环形光阑、测量物镜、光谱探测模块；所述照明模块用于产生偏振方向可选的线偏振激光作为入射光；所述入射光经所述分光平片反射进入所述环形光阑，经环形光阑整形后通过所述测量物镜聚焦于待测样品上；待测样品经激发产生的布里渊散射光被所述测量物镜收集，进入所述环形光阑，经所述环形光阑调制后通过所述分光平片透射到所述光谱探测模块；所述光谱探测模块，用于收集探测待测样品的布里渊散射光光谱。本发明可实现高空间分辨、高光谱分辨环形光瞳共焦布里渊显微系统。