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多晶硅生产中回收氯化氢的脱吸塔热能利用系统

摘要

本发明涉及多晶硅尾气回收技术领域,具体地说是一种多晶硅生产中含有H

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-03-27

    授权

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  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 7/07 申请日:20110901

    实质审查的生效

  • 2012-05-02

    公开

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