聚合物、抗蚀剂组合物、形成有图案的基板的制造方法、以及(甲基)丙烯酸酯及其制造方法

摘要

一种聚合物，其包含基于式(1)所表示的单体的结构单元(1)，且基于具有多环结构的单体的结构单元的含量为35摩尔％以下。式(1)中，R1表示氢原子或甲基；A1表示包含酯键的连接基或单键，其中，A1不具有叔碳原子；Z1表示包含与A1结合的碳原子和‑SO2‑而形成碳原子数3～6的含硫环式烃基的原子团。