产品检查方法及产品检查装置

摘要

本发明提供一种通过光测定来进行高速且高可靠性的良好与否判断的新技术。至少在1100～1300nm具有连续的光谱的超晶格光从脉冲光源(1)出射，并以一脉冲中的波长与经过时间的关系成为1对1的方式被伸长元件(2)脉冲拉伸而照射到产品(P)。透过产品(P)的光被受光器(3)接收，输出数据被输入到判断单元(7)。判断单元(7)的良好与否判断程序(43)根据输出数据计算吸收光谱，利用化学计量学进行量化而与基准值进行比较，判断良好与否。被判断为是不良品的产品(P)被排除机构(8)排除。