一种曲率自适应集群磁流变抛光自由曲面的方法及装置

摘要

本发明涉及超精密加工技术领域，更具体地，涉及一种曲率自适应集群磁流变抛光自由曲面的方法及装置。其中，抛光方法以下步骤：将待加工工件置于旋转平台组件内，使各个抛光头位于待加工工件上方；将磁流变抛光液倒入旋转平台组件中；使各个抛光头实现同步转动；通过旋转平台组件使待加工工件进行旋转，开始抛光；在抛光过程中，使抛光头上下移动进行恒压抛光；y方向直线导轨组件带动旋转平台组件进行y方向的水平低速往复移动，使待加工工件得到均匀抛光。本发明可完好地实现抛光自由曲面的要求，在提高加工效率的基础上保证恒力加工，减轻加工的不均匀性，非常适合对自由曲面的光学元件、半导体、陶瓷等材料进行高效率超精密抛光。