一种X射线管焦点尺寸的测量装置及测量方法

摘要

本发明提供一种X射线管焦点尺寸的测量装置及测量方法，该测量装置包括X射线管、通孔治具、CMOS探测器及数据处理器，利用小孔成像原理，使X射线管焦点在CMOS探测器上成像，再通过数据处理器获取CMOS探测器得到的X射线管的焦斑图像，进而得到X射线管焦点的尺寸。CMOS探测器具有高灵敏度、高空间分辨率和高动态范围，结合一键式数据处理器能够快速且准确的完成X射线管焦点的检测，极大地提高焦点尺寸的测试效率，且该测量装置能够实现对几微米到几毫米的不同尺寸不同类型的焦点测量，具有很高的检测精度和通用性。此外，还可以通过选用合适厚度的附加滤过对X射线能谱进行调节，进一步提高焦点尺寸测量的精度。