一种基于AMC在线监测系统的污染源查找方法

摘要

本发明公开了一种基于AMC在线监测系统的污染源查找方法：(1)当AMC在线监测系统的某一采样点测出异常值时，先确定污染物的物种；(2)排查待监测的洁净室空间内的污染物源头，排除不会产生步骤(1)涉及的污染物物种的污染物源头；(3)根据气流流线，排除那些污染物源头的流线不会经过所述步骤(1)中采样点及其设定范围内的污染物源头；(4)根据机台的操作特性，排除不符合的机台；(5)然后采用可移动式检测设备对上述步骤2、3、4排除之后的污染物源头进行进一步的检测，即可确定污染物的来源。本发明的方法不仅没有增加额外的投入、成本较低，而且可以有效地查找到污染源，形成了一套系统性的方法。