倾斜表面浮雕结构上的外覆层的平坦化

摘要

公开了用于在倾斜表面浮雕结构上产生外覆层的技术以及使用该技术获得的设备。在一些实施例中，平坦化表面浮雕结构上的外覆层的方法包括使用离子束以掠射角移除外覆层的一部分。外覆层包括平坦表面部分和非平坦表面部分。每个非平坦表面部分包括第一倾斜侧和面向第一倾斜侧的第二倾斜侧。掠射角被选择成使得每个非平坦表面部分的第一倾斜侧相对于离子束被相邻的平坦表面部分遮蔽，从而离子束不会到达每个非平坦表面部分的至少第一倾斜侧，而是到达每个非平坦表面部分的第二倾斜侧。