F-P谐振腔型光学加速度计

摘要

本申请公开了F‑P谐振腔型光学加速度计，包括第一衬底，第一衬底的一侧设置有下沉平台，下沉平台的底部设置有半球形凹透镜，半球形凹透镜的表面设置有第一金属反射膜，第一衬底设置有下沉平台的一侧与第二衬底键合；质量块设置在第二衬底的中空腔内，质量块与第二衬底通过若干悬臂梁连接，质量块靠近半球形凹透镜的一侧设置有第二金属反射膜。本申请公开的F‑P谐振腔型光学加速度计，通过设置稳定的谐振腔，降低了光学加速度计中的光学损耗，提高加速度计的测量精度；可以根据出射光波长的改变反推谐振腔长度的改变，从而实现加速度的测量，结构简单，集成度高，生产成本低，利于光学加速度计的广泛应用。