一种基于双层传输线结构的硅基电光调制器行波电极及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于双层传输线结构的硅基电光调制器行波电极及其制备方法。所述行波电极包括从下至上依次设置的衬底、二氧化硅层、掺杂硅层、第一覆盖层、第一金属层、第二覆盖层和第二金属层。所述行波电极两侧还设置有贯穿衬底、二氧化硅层、掺杂硅层、第一覆盖层、第一金属层、第二覆盖层和第二金属层的窗口结构。本发明提供的基于双层传输线结构的硅基电光调制器行波电极通过形成通孔对衬底进行了挖空，有效地增大了光信号与微波信号等效折射率匹配程度，降低了基座带来的损耗，进一步提高了带宽。并且通过优化有源区来降低损耗，可以将降低金属损耗与介质损耗相结合来进一步优化调制器性能。