公开/公告号CN113555467A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 南京大学;
申请/专利号CN202110675450.0
申请日2021-06-17
分类号H01L31/18(20060101);H01L31/032(20060101);H01L31/0352(20060101);H01L39/24(20060101);H01L39/12(20060101);
代理机构32203 南京理工大学专利中心;
代理人封睿
地址 210093 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
入库时间 2023-06-19 13:00:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-18
授权
发明专利权授予
机译: 调节超导纳米线的单光子探测器及其制备方法
机译: 超导纳米线单光子探测器及其制造方法
机译: 超导纳米线单光子探测器的互补金属氧化物半导体兼容图案