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一种金刚线细线化切割太阳能级硅片用冷却液及其制备方法

摘要

本发明涉及一种金刚线细线化切割太阳能级硅片用冷却液及其制备方法,该一种金刚线细线化切割太阳能级硅片用冷却液包括:自组装功能型分散剂35%~60%、润湿剂8%~15%、硅粉活性抑制剂3%~6%,余量为去离子水。实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明具有极佳硅粉分散能力、优秀的润湿性能、出色的极压润滑性能、极强的冷却液带热性能、优异的泡沫控制性能、良好的抑制硅粉析反应的性能,可以满足大尺寸硅片切割的工艺性能要求。

著录项

  • 公开/公告号CN113528097A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202110954412.9

  • 发明设计人 王嘉;刘传君;王艺澄;

    申请日2021-08-19

  • 分类号C09K5/10(20060101);

  • 代理机构32200 南京经纬专利商标代理有限公司;

  • 代理人殷星

  • 地址 212200 江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号

  • 入库时间 2023-06-19 12:57:44

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