一种用于高解解析度的精细金属掩模版及其制作工艺

摘要

本发明公开了一种用于高解解析度的精细金属掩模版及其制作工艺，本掩模版由聚酰亚胺原液与具有磁性的粉体混合而成。使得掩膜版在保证足够磁性的前提下，做到重量最小，厚度最小，产生的弯曲形变最小，能够实现大尺寸掩膜版的制作，工艺简单，使用方便。