气压/液压式微力自调节RF探针卡装置及自调节方法

摘要

本发明气压/液压式微力自调节RF探针卡装置及自调节方法属于半导体芯片测试技术领域；该RF探针卡装置设计有能够利用气体或液体驱动导杆运动，进而带动薄膜探针上下运动的结构，同时还设置有压力传感器；通过压力传感器将压力值传递给上位机，并在上位机的精确控制下，控制气体或液体的充入量；在上述关键结构和方法下，本发明相比于传统RF探针卡手动调节方式相比，不仅能够实现上位机自动调节，节省人力，而且能够做到精确控制微力；此外，充入的是低温气体或液体，还具有降温散热的作用；同时，该探针卡装置采用薄膜探针可拆卸式安装方式，在探针损坏的情况下，仅需要更换薄膜探针即可，不仅拆卸方便，而且节约测试成本。