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气体电子倍增器复合膜及包含其的气体电子倍增器和检测装置

摘要

本发明提供一种气体电子倍增器及包含其的检测装置。该气体电子倍增器包括:一第一电极板,包含多个第一孔洞,且该些第一孔洞的至少之一具有一第一宽度;一第二电极板,与该第一电极板相对设置,其中,该第二电极板包含多个第二孔洞,且该些第二孔洞的至少之一具有一第二宽度;以及一收集电极,该第二电极板设置于该第一电极板与该收集电极之间;其中,该第一宽度大于该第二宽度。

著录项

  • 公开/公告号CN113539780A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 群创光电股份有限公司;

    申请/专利号CN202010282876.5

  • 申请日2020-04-10

  • 分类号H01J43/22(20060101);H01J43/06(20060101);G01T1/185(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人吴梦圆

  • 地址 中国台湾新竹科学工业园区苗栗县竹南镇科学路160号

  • 入库时间 2023-06-19 12:56:12

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