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构造成布置在立式炉的反应器内的喷射器以及立式炉

摘要

提供了一种喷射器,其构造成布置在立式炉的反应器内,以在反应器中喷射气体。该喷射器被制成基本细长的,并且构造成具有内部气体传导通道,以将气体从喷射器的第一端部输送到喷射器的第二端部。喷射器的外侧壁可以在喷射器长度的至少10%优选30%且最优选50%上朝向第二端部逐渐变细,以增加用于将喷射器安装在管中的公差。

著录项

  • 公开/公告号CN113539887A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASM IP私人控股有限公司;

    申请/专利号CN202110399703.6

  • 发明设计人 C.G.M.德里德;

    申请日2021-04-14

  • 分类号H01L21/67(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人焦玉恒

  • 地址 荷兰阿尔梅勒

  • 入库时间 2023-06-19 12:56:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 专利申请号:2021103997036 申请日:20210414

    实质审查的生效

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