公开/公告号CN113539887A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP私人控股有限公司;
申请/专利号CN202110399703.6
发明设计人 C.G.M.德里德;
申请日2021-04-14
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人焦玉恒
地址 荷兰阿尔梅勒
入库时间 2023-06-19 12:56:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 专利申请号:2021103997036 申请日:20210414
实质审查的生效
机译: 喷射器配置用于垂直炉和立式炉的反应器内的布置
机译: 喷射器配置用于垂直炉和立式炉的反应器内的布置
机译: 喷射器配置用于垂直炉和立式炉的反应器内的布置