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公开/公告号CN113540149A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 南方科技大学;
申请/专利号CN202110787366.8
发明设计人 王硕;廖志敏;林本川;房景治;俞大鹏;
申请日2021-07-12
分类号H01L27/22(20060101);G11C11/02(20060101);H01L21/8239(20060101);
代理机构44721 广东金泰智汇专利商标代理事务所(普通合伙);
代理人江丽娇
地址 518055 广东省深圳市南山区学苑大道1088号
入库时间 2023-06-19 12:56:12
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