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一种钙钛矿薄膜缺陷态的气相钝化方法

摘要

本发明提供了一种钙钛矿薄膜缺陷态的气相钝化方法,包括如下步骤:(1)采用物理化学法将钙钛矿前驱液涂覆于导电基底上,经退火处理后形成钙钛矿薄膜;(2)将步骤(1)所述的涂覆有钙钛矿薄膜的导电基底送入反应腔内;(3)将特定的电压加载于步骤(2)所述的导电基底上,进而实现向基底上涂覆的钙钛矿薄膜加载电压;(4)使用缓冲气体将用于缺陷态钝化的气体分子通入至步骤(2)所述的反应腔内,与步骤(3)所述的已加载电压的钙钛矿薄膜进行化学反应;(5)将步骤(4)所述的钙钛矿薄膜和气体分子的反应活性经原位表征系统进行检测,根据反应活性的检测结果即可判断钙钛矿薄膜缺陷态的钝化。所述方法是通过向钙钛矿薄膜施加电场,诱发钙钛矿薄膜缺陷态与气体分子发生化学反应,实现钙钛矿薄膜缺陷态的钝化。本发明具有条件可控、重复准确性高等优点。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-10-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/48 专利申请号:2021107541982 申请日:20210702

    实质审查的生效

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