用于进行电子背散射衍射样品表征的方法和设备

摘要

一种对通过电子背散射衍射成像的样品进行分析的方法。所述方法包括标识所述样品上的位置的电子背散射衍射图像中的多个菊池带。所述方法进一步包括对于每个所标识的菊池带，至少部分地基于对所述样品上的所述位置的估计形成所述菊池带的相应向量表示。所述样品的配置通过将来自多个预期向量表示集的特定的预期向量表示集标识为与所述多个所标识的菊池带的所述向量表示相匹配来确定。