公开/公告号CN113514319A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 吉林大学;
申请/专利号CN202110502918.6
申请日2021-05-10
分类号G01N3/02(20060101);G01N3/04(20060101);G01N3/06(20060101);G01N3/08(20060101);G01N3/20(20060101);G01N3/24(20060101);
代理机构22100 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司;
代理人王怡敏
地址 130000 吉林省长春市前进大街2699号
入库时间 2023-06-19 12:54:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-14
授权
发明专利权授予
机译: 在一个集成系统中,结合了电子前驱体,差动泵富集和胆囊信号原位,用于原位扫描电子显微镜。
机译: 静动态疲劳蠕变试验装置
机译: 集成在半导体晶圆和光掩模光学检测系统中的原位扫描电子显微镜检查站