基于边缘场和深度学习的检查方法

摘要

根据本公开的一实施例，公开缺陷检查装置。上述装置可包括：照明系统，以向检查对象物体表面透射按照区域具有不同照度的照明图案的方式设计；拍摄部，用于获取上述检查对象物体的图像数据；一个以上的处理器，用于处理上述图像数据；以及存储器，存储基于深度学习的模型。并且，在一个以上的上述处理器中，通过控制上述照明系统，来使得上述照明系统向上述检查对象物体表面透射按照区域具有不同照度的照明图案，向上述基于深度学习的模型输入通过上述拍摄部获取的图像数据，上述图像数据包括因所透射的上述照明图案而在物体表面的至少一区域所产生的照度的剧烈变化，可利用上述基于深度学习的模型判断上述检查对象物体表面的缺陷。