双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备

摘要

本发明公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备，双波段照明系统包括：第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件，耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线；第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧；其中，第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样，通过设有第一光源和第二光源发出光线，并在耦合透镜上进行耦合后传递，使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整，降低双波段照明系统所匹配成像系统的设计难度，提升双波段照明系统的市场竞争力且双波段照明系统在进行生产时的工艺覆盖面更为广阔。