公开/公告号CN113517219A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司;
申请/专利号CN202010276306.5
申请日2020-04-09
分类号H01L21/768(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11619 北京辰权知识产权代理有限公司;
代理人佟林松
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 12:54:37
机译: 制造用于防止金属腐蚀的油漆的方法和用于防止金属腐蚀的油漆的方法
机译: 刻蚀过程的速率和刻蚀后的金属层表面性能得到改善的刻蚀金属层的解决方案,以及使用相同方法刻蚀金属层的方法
机译: 用于金属后蚀刻以防止金属腐蚀的光刻胶剥离和除电方法