公开/公告号CN113506803A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN202110685076.2
发明设计人 翁文寅;
申请日2021-06-21
分类号H01L27/11(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人戴广志
地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2023-06-19 12:53:05
机译: 通过图案化替代金属栅极中的边界邻近来抑制功函数效应的结构和方法
机译: 通过图案化替代金属栅极中的边界邻近来抑制功函数效应的结构和方法
机译: 半导体结构,双功函数的CMOS器件,双功函数的CMOS电路以及在基板上形成双功函数的CMOS器件的方法(碳化物金属栅极结构和形成方法)