一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法

摘要

本发明涉及一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法，其中涂层包括通过物理气相沉积法依次设于基底上的Ti层、TiN层、TiCN层以及TiCN/a‑C层。与现有技术相比，本发明中的Ti‑TiN‑TiCN‑TiCN/a‑C多层涂层，以金属Ti作为打底层、金属陶瓷TiN做过渡层的多层化设计方法，不仅提高了涂层与工模具表面的结合力，而且可以释放涂层生长应力，延长裂纹的扩展距离，使得涂层具有良好的韧性及抗热震性能，在提高工模具表面性能的同时，延长其使用寿命，并可适用于有色金属、高分子材料及黑色金属的成型加工，具有适用范围广、加工性能好等特点。