公开/公告号CN113495073A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 泰连服务有限公司;泰科电子(上海)有限公司;
申请/专利号CN202010265772.3
申请日2020-04-07
分类号G01N21/88(20060101);G01N21/93(20060101);G01N21/94(20060101);G01N21/84(20060101);G01N21/01(20060101);G02B7/38(20210101);H04N5/232(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人陈曦
地址 瑞士沙夫豪森
入库时间 2023-06-19 12:51:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 专利申请号:2020102657723 申请日:20200407
实质审查的生效
机译: 半导体器件的视觉检查系统以及使用该视觉检查系统的半导体器件的检查方法
机译: 用于半导体装置的视觉检查系统以及使用该视觉检查系统检查半导体装置的方法
机译: 视觉检查系统的操作检查机的视觉检查系统及计算机程序