一种具有更快切换速度的分离绝缘栅双极晶体管

摘要

本发明提供了一种具有更快切换速度的分离绝缘栅双极型晶体管，包括：具有第一导电类型的衬底；具有与该第一导电类型相反电性的第二导电类型的缓冲层；具有与该第一导电类型相反电性的第二导电类型的漂移层，外延于该衬底上；具有第一导电类型的第一阱区设置于该漂移层上；多个沟槽形成于该第一阱区并垂直延伸至该漂移层中；屏蔽电极形成于每一个沟槽下半部，该屏蔽电极与该第一阱区以及该漂移层由屏蔽介电层作电气隔离；跨电极介电层形成于该屏蔽电极上；栅极设置于该衬底上方相应的每一个该沟槽的上半部内，该栅极与相应该沟槽的侧壁形成一栅极绝缘层。