用于制造超导LC型谐振器的方法和由此获得的超导谐振器

摘要

本发明涉及一种用于制造包括至少一个高电阻率衬底(1)类型的超导LC型谐振器的方法，所述至少一个高电阻率上印刷有电感线圈(3)、称为下部的第一电极(41)和称为上部的第二电极(40)，该第二电极与第一电极相对布置以形成与电感线圈(3)并联连接的电容器(4)，以及专用于所述谐振器的电感耦合装置(2)，其中牺牲铝层沉积在所述第一和第二电极之间。本发明还涉及由此获得的超导LC型谐振器以及涉及这种谐振器用于检测毫米光子噪声的用途。