公开/公告号CN113484325A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 广东奥普特科技股份有限公司;
申请/专利号CN202110759152.X
申请日2021-07-05
分类号G01N21/88(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人韩静粉
地址 523000 广东省东莞市长安镇锦厦社区河南工业区锦升路8号
入库时间 2023-06-19 12:49:58
机译: 晶圆缺陷检测方法和使用该缺陷检测方法的晶圆缺陷检测系统
机译: 用于检查缺陷的晶圆和使用该晶圆的缺陷检测方法
机译: 图像缺陷检测方法和图像缺陷恢复方式,是一种检测图像缺陷检测装置和图像缺陷的方法