一种基于干涉的硅光加速器传感器及加速度测量方法

摘要

本申请涉及一种基于干涉的硅光加速器传感器及加速度测量方法，通过入射光纤末端的第一布拉格反射镜和扭转梁上的第二布拉格反射镜组成F‑P腔，第二布拉格反射镜能够随着扭转梁的扭转其角度发生变化，F‑P腔间隙发生改变，继而与第一布拉格反射镜射出的光线发生干涉。因此，若有宽带光入射，经过第一布拉格反射镜和第二布拉格反射镜后，只有特定波长的光出射，出射波长和F‑P腔间隙有关。而间隙变化与受到惯性力引起的扭转梁形变有关系，进而根据波长即可知道惯性力的大小。由于使用F‑P干涉的方法，传感器灵敏度较高，且具有该结构的传感器能够测量平面外惯性力。