探针针头及静电探针

摘要

本发明公开了探针针头及静电探针，探针针头由同轴且直径不同的圆柱体组成，包括针头头段、针头过渡段、热容池段和针头尾段，其中，针头头段的直径小于针头过渡段的直径，针头过渡段的直径小于热容池段的直径，针头尾段的直径小于热容池段的直径，探针针头采用高热导率石墨加工而成。本发明通过设计合理的探针针头和探针模块结构，使热容池段具有较大的直径，用于缓冲、分散探针头部接收到的大量热流，避免石墨针头过热甚至被严重烧蚀；本发明所述静电探针可通过选用不同长度的石墨针头、不同的后端连接电路以及不同的模块化探针底座设计，将测量不同空间位置、不同物理量的多根静电探针排列、组合在同一套静电探针系统中，以实现不同的测量目的。