用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用

摘要

本发明公开了一种用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用。本发明提供一种清洗液，其由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：0.5％‑20％的氧化剂、0.01％‑30％的氧化剂稳定剂、0.1％‑20％的氟化物、0.1％‑20％的有机碱、0.001％‑10％的螯合剂、0.001％‑10％的缓蚀剂、0.01％‑15％的羧酸铵、0.001％‑1.5％的表面活性剂、0.001％‑2.5％的钝化剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占原料总质量的百分比；其中，所述的表面活性剂为EO‑PO聚合物L42。该清洗液可选择性移除硬遮罩和其它残留物，对钨及多种金属及电介质相容性强，清洗效果佳。