用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法

摘要

本发明公开了一种用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，长晶炉包括主室，主室内容纳有承载溶液的坩埚，溶液移除装置包括：吸附装置，吸附装置设置在坩埚上方，并可相对于坩埚升降，吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，吸附材料能对坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。通过直接吸附的方法，将溶液吸附在吸附材料上，从而有效的将富含大量杂质的溶液移除，提升后续晶棒的品质，且该装置操作简单方便，可有效提高效率，节省人力和时间成本。