物体表面冲击波测量高灵敏薄膜传感器及制作方法

摘要

本发明属于实验力学测试技术领域，具体是一种物体表面冲击波测量高灵敏薄膜传感器及制作方法。包括压电膜元件和绝缘垫平层，绝缘垫平层中心位置设置有嵌入孔，压电膜元件嵌在嵌入孔内并与绝缘垫平层形成传感器芯层，传感器芯层的上下两侧为纤维聚合物电极，纤维聚合物电极与压电膜元件及绝缘垫平层通过纤维聚合物电极的表面粘性进行粘结固定，纤维聚合物电极的外侧设置绝缘保护层，上述结构共同构成薄膜结构，薄膜结构周向对称开设若干个法兰固定孔，薄膜结构通过法兰固定孔与法兰固定连接，法兰中部开设的法兰孔为压力加载区，法兰上设置有连接点封装端，连接点封装端内封装有引线连接点。