晶圆传输装置和晶圆传输系统

摘要

本发明实施例提供一种晶圆传输装置和晶圆传输系统，晶圆传输装置包括：传输组件和驱动组件，驱动组件与传输组件连接，用于驱动传输组件在第一位置与第二位置之间移动；传输组件包括：第一卡座和第二卡座，用于分时承载晶圆组，晶圆组包括至少一个晶圆；第一升降机构，与第一卡座连接，用于驱动第一卡座升降，在传输组件将晶圆组从第一位置传输至第二位置期间，第一升降机构驱动第一卡座承载晶圆组；第二升降机构，与第二卡座连接，用于驱动第二卡座升降，在传输组件将晶圆组从第二位置传输至第一位置期间，第二升降机构驱动第二卡座承载晶圆组。本发明实施例能够防止清洗干净的晶圆在传输时受到污染。