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基于1T-TaS2的光学脉冲调制器件及其在激光器中的应用

摘要

一种基于1T‑TaS2的光学脉冲调制器及其在激光器中的应用,1T‑TaS2光学脉冲调制器由化学气相传输法制得,包括衬底和沉积在衬底上面的1T‑TaS2薄膜。将1T‑TaS2光学脉冲调制器放置在连续或长脉冲运转的激光谐振腔内,可以实现短脉冲激光输出。本发明1T‑TaS2光学脉冲调制器具有以下优势:1T‑TaS2具有恢复时间短、工作波段宽的特性,可对可见至红外波段的激光实现调制。1T‑TaS2薄膜采用化学气相输运法制得,制备工艺简单成熟,所得样品结晶质量高,在衬底的分布均匀,且厚度可控,更有利于实际应用。体积小、便于集成,可实现从材料到器件的一体化设计和集成,有利于产业化生产。

著录项

  • 公开/公告号CN113437630A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-09-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202110631580.4

  • 申请日2021-06-07

  • 分类号H01S3/098(20060101);C23C16/30(20060101);

  • 代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人张宁展

  • 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号

  • 入库时间 2023-06-19 12:40:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-07-07

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01S 3/098 专利申请号:2021106315804 申请公布日:20210924

    发明专利申请公布后的视为撤回

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