一种环境稳定的超高品质因子光学微腔及其制备方法

摘要

本发明公开了一种环境稳定的超高品质因子光学微腔及其制备方法。本发明的环境稳定的超高品质因子光学微腔是通过化学气相沉积法在回音壁模式光学微腔表面沉积硅烷偶联剂层后得到，所述回音壁模式光学微腔的表面经过化学修饰从而形成不受环境影响的稳定结构。其中，硅烷偶联剂为疏水性硅烷偶联剂，硅烷偶联剂中的水解基团与微腔表面的羟基发生水解反应，硅烷分子被修饰到微腔表面，光学微腔表面形成疏水性化学键。本发明的光学微腔经测试，在相对湿度为35％和75％的环境中，经过两周时间，品质因子Q值仍能保持108以上。因此，本发明的光学微腔的品质因子具有良好的环境稳定性，具有广泛的应用前景。