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公开/公告号CN113419124A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 西安微电子技术研究所;
申请/专利号CN202110651069.0
发明设计人 张庆学;唐磊;匡乃亮;刘曦;刘思婕;李逵;郭雁蓉;赵超;余国强;
申请日2021-06-10
分类号G01R31/00(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人李红霖
地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
入库时间 2023-06-19 12:40:27
机译: 一种制造微系统的方法,一种微系统,一堆包含微系统的箔,一种包含微系统的电子设备以及该电子设备的使用
机译:基于模块化的集成微系统,具有多个样品制备模块,用于自动法官DNA的参考,挑战样本
机译:用于增材制造和电子打印的微系统制造的模块化,灵活,可扩展和可重新配置的系统
机译:用于微系统的计算机辅助设计的模块化软件系统
机译:一种用于LHC量热的前端微系统设计的模块化容错方法
机译:用于生化微系统的高频设备和电路模块。
机译:星载多静态SAR层析成像系统的空间基线优化
机译:P1.4 - 一种新型ESPI系统,用于分析微系统的静态和振荡位移
机译:内部模块多元微系统(Im2)总线和接口电路。