公开/公告号CN113401677A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN202110748236.3
申请日2021-06-29
分类号B65G63/00(20060101);B65G49/07(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人周耀君
地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号
入库时间 2023-06-19 12:38:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-07
授权
发明专利权授予
机译: 如何操作自动化物料搬运系统以及自动化物料搬运系统
机译: 自动化系统中用于无线传输信号的传输系统和传输方法,以及具有这种传输系统的自动化系统
机译: 使用封闭式便携式托架的自动物料传输系统-从处理站收集物料,然后在自动引导车上的密封托架中输送到另一物料