法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-08
授权
发明专利权授予
机译: 用于制造生物分子阵列或聚合物阵列的可编程面罩,用于制造包括该可编程面罩的生物分子阵列或聚合物阵列的装置以及使用该可编程面罩和光化学合成器来制造生物分子阵列或聚合物阵列的方法
机译: 用于多光束的消隐光阑阵列装置及制造方法用于多光束的消隐光阑阵列装置的制造方法
机译: 用于例如图1中的照明光学装置的固定结构的镜交换阵列。用于执行微光刻的扫描仪,具有设置有高反射涂层的反射镜交换阵列单元的单个反射镜