公开/公告号CN113396339A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱电机株式会社;
申请/专利号CN201980089610.4
申请日2019-08-21
分类号G01S13/66(20060101);G01S13/86(20060101);G01S13/87(20060101);G01S13/931(20200101);G01S17/87(20200101);G01S17/931(20200101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人孙明浩;崔成哲
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 12:33:50
机译: 气体浓度-厚度乘积计测装置,气体浓度-厚度乘积计测方法,气体浓度-厚度乘积计测程序,以及记录有气体浓度-厚度乘积计测程序的计算机可读取的记录介质
机译: 气体浓度厚度积计测装置,气体浓度厚度积计测方法,气体浓度厚度积计测程序以及记录气体浓度厚度积计测程序的计算机可读记录介质
机译: 气体浓度厚度积计测装置,气体浓度厚度积计测方法,气体浓度厚度积计测程序以及记录气体浓度厚度积计测程序的计算机可读记录介质