一种改善POLY-SI化学气象沉积的装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种改善POLY‑SI化学气象沉积的装置，该装置包括反应腔、导流机构、连接管、流量计及真空机构，所述导流机构包括若干个导流分管，若干个导流分管的一端设置在反应腔内，导流分管的另一端穿过反应腔后与连接管相连通，所述流量计设置在连接管上，连接管与流量计间设置有控制阀，所述真空机构与反应腔相连通，本专利通过改变单导流管为导流管Ⅰ和导流管Ⅱ，使用一只流量计进行2个导流管的气体流量控制，进而实现增加导流管管径的目的，从而延缓导流管的堵塞速度，延长导流管的寿命。